?1.蝕刻機(jī)噴頭的詳細(xì)介紹:
蝕刻機(jī)噴頭是蝕刻機(jī)噴淋系統(tǒng)中很重要的一個(gè)構(gòu)件,藥劑噴淋的形態(tài)是依據(jù)蝕刻機(jī)噴頭的種類所決定的,不同類型的蝕刻機(jī)噴頭所發(fā)揮的作用是不同的。
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2.蝕刻機(jī)噴頭的功效:
作用是把蝕刻液均勻噴淋到產(chǎn)品工件上,蝕刻機(jī)噴頭依據(jù)蝕刻機(jī)每一道工序?qū)?yīng)的規(guī)定所選擇不同種類。例如:基本前提下蝕刻段選擇以扇形,由于蝕刻段對(duì)壓力要求比較高,而我扇形噴嘴噴淋出來(lái)的液體壓力會(huì)也較高;顯影段和退膜段咱們就選用錐形噴嘴,因?yàn)檫@個(gè)兩處必須覆蓋范圍廣,而錐形噴嘴恰好便有這一特性。
扇形噴嘴:扇形噴嘴噴霧錐形噴嘴:錐形噴嘴噴霧
3.蝕刻機(jī)噴頭的維護(hù)保養(yǎng):
蝕刻液是由蝕刻機(jī)噴頭頂端小孔把藥劑給噴淋出去,這一小孔的直徑不會(huì)很大,因此是非常容易堵塞的,但是我們的蝕刻液沉淀的雜質(zhì)和蝕刻出來(lái)的殘?jiān)穷w粒的,使用的時(shí)間太長(zhǎng)了一些固體細(xì)顆粒物的建立便會(huì)堵塞噴頭,所以我們要定期進(jìn)行的清除蝕刻機(jī)的噴頭才能實(shí)現(xiàn)較好的蝕刻效果。